میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ الکترونی چیست؟
میکروسکوپ الکترونی توسط فیزیک‌دان مجارستانی لیو زیلارد اختراع و ثبت شد. قوی‌ترین میکروسکوپ الکترونی دنیا با نام پیکو در سال ۲۰۰۹ در مدرسه عالی فنی آخن در آلمان ساخته شده و توان نمایش ذراتی به اندازه ۵۰ پیکومتر پنج صدم نانومتر و تصاویری از اجزای اتم و حرکت اتم‌ها را دارد.
میکروسکوپ الکترونی یک نوع از میکروسکوپ است که از پرتو الکترون برای ایجاد یک تصویر از نمونه استفاده میکند. پرتوی الکترونی در خلاء به صورت عمودی از میکروسکوپ عبور می کند. سپس با عبور از میدان های الکترومغناطیسی و لنزهای ویژه به صورت متمرکز به نمونه تابانده می شوند. به محض برخورد پرتو با نمونه، الکترون ها و اشعه های ایکش از نمونه خارج می شوند.
در اواسط قرن 19 دانشمندان به این نتیجه رسیده که دیدن ساختار های بسیار کوچکتر از نیم میکرون با میکروسکوپ نوری ،به سادگی امکان پذیر نمیباشد، توسه اشعه کاتد و استفاده از الکترون به جای نور تغییر چشمگیری را ایجاد کرد. معمولا الکترون بينkeV 30-1 شتاب داده مي شوند، سپس دو يا سه عدسي متمرکز کننده پرتو الکتروني را کوچک مي کنند تا حدي که در موقع برخورد با نمونه قطر آن حدودا بين 10-2 نانومتر است.
برخی از کاربرد های میکروسکوپ الکترونیمشاهده نمونه بابزرگنمایی بسیار بیشتر از میکروسکوپ نوری-بررسی مقاطع شکست و سطوحی که مستلزم عمق میدان بسیار بیشتر از میکروسکوپ نوری هستند-• تعیین جهت رشد مواد بلورین و صفحات کریستالی-ميكروسكوپ هاي الكتروني قادرند در عمق بيشتري از سلول نفوذ كرده و اجزاي داخلي سلول را نمايش دهند-ارزيابي گراديان تركيب شيميايي روي سطح نمونه‌ها در فاصله‌اي به كوچكي µm 1-بررسي قطعات نيمه‌هادي براي آناليز شكست، كنترل عملكرد و تأييد طراحي
از انواع میکروسکوپ الکترونی میتوان به ميكروسكوپ الكتروني اسكنينگ،ميكروسكوپ الكتروني روبشي SEM، ميكروسكوپ الكتروني عبوري TEM،اشاره کرد